分析手法
We provide two-dimensional nanoscale electrical properties measurement and imaging. Advanced electrical characterization technology and research into next generation semiconductor production equipment are our focus.
分析案例
Advanced analysis of devices including solar cells, CMOS sensor, logic/power devices and other third generation of semiconductor materials such as GaN & SiC are provided.
技术研发
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【概要】SMM（Scanning Microwave Microscope /扫描微波显微镜）是将微波照射到试样上时，在测量样品时利用反射波相位和幅值来分析获取如导电率、介电常数、载流子浓度与类型等电性信息，可应用于多种领域材料的研究和发展，例如半导体材料、绝缘材料、薄膜材料等。此外，我司还可提供扫描微波阻抗显微镜（Scanning Microwave Impedance Microscope, SMIM）测试服务。
应用一：对SRAM样品进行测试，可得到高分辨率图像
应用二：CMOS 器件截面形貌与载流子浓度分布测量
利用 SMM 可对 CMOS 器件截面形貌与载流子浓度分布进行测量，以帮助判断离子注入与扩散工艺是否满足 target。
应用三：器件失效定位与故障分析
利用热点定位找到器件的故障位置后，通过 SMM 扫描定位到失效的管子，通过检查载流子的分布情况确定扩散异常导致桥接的点位。
